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제품 상세 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: JINXING
인증: ISO 9001
모델 번호: 몰리 이온 주입 부품
결제 및 배송 조건:
최소 주문 수량: 15 KG
가격: Negotiable
포장 세부 사항: 합판 상자
배달 시간: 15-20 일
지불 조건: L/C, T/T, D/P, 서부 동맹
공급 능력: 달 당 2000 킬로그램

상세 정보

상품 이름: 몰리 이온 주입 부품 등급: Mo1
비중: 10.2 G/cm3 순도: >=99.95%
인장 강도: >325MPa 신장: <21%
표준: ASTM B387-01 애플리케이션: 반도체 산업
하이 라이트:

Ion Implanting Molybdenum Products

,

Molybdenum Ion Implanting Parts

,

Semiconductor Ion Implanting Parts

제품 설명

반도체 응용 분야의 고순도 몰리온 주입 부품

Moly Ion Implanting Parts는 원소의 원자를 이온으로 이온화하여 수십~수백 kV의 전압으로 가속시킨 후, 고속을 획득한 후 진공 타겟 챔버에 배치된 피삭재의 표면에 주입하는 이온빔 기술입니다.

 

이온 주입 후 재료 표면의 물리적, 화학적 및 기계적 특성이 크게 변경됩니다.금속 표면의 지속적인 내마모성은 초기 주입 깊이의 2 ~ 3 배에 이를 수 있습니다.

 

 

사양 및 화학 성분(명목상))

재료 유형 화학 성분(중량 기준)
퓨어몰리 모1 >99.95%분모
Ti-Zr-Mo 합금 TZM 0,5% Ti / 0,08% Zr / 0,01 - 0,04% C
Mo-Hf-C MHC 1,2 % Hf / 0,05 - 0,12 % C
몰리 레늄 5.0% 재
몰리 텅스텐 MoW20 20,0% W
몰리 텅스텐 MoW50 50,0% W

 

 

 

 

 

 

몰리 이온 주입 부품 기술의 장점:


(1) 순수한 무공해 표면 처리 기술입니다.


(2) 열 활성화 및 고온 환경이 필요하지 않으므로 공작물의 전체 치수 및 표면 마감이 변경되지 않습니다.


(3) 이온 주입 층은 이온 빔과 기판 표면 사이의 일련의 물리적, 화학적 상호 작용에 의해 형성된 새로운 표면 층이며 기판과 기판 사이에 박리 문제가 없습니다.


(4) 이온주입 후 기계가공 및 열처리가 필요 없다.

 

몰리 이온 주입 부품 그림:
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몰이온 주입 부품의 응용

반도체 기술에서 이온 주입은 고정밀 도즈 균일성과 반복성을 가지고 있습니다.이상적인 도핑 농도 및 통합을 얻고 회로의 통합, 속도, 수율 및 서비스 수명을 크게 향상시키고 비용 및 전력 소비를 줄일 수 있습니다.이것은 화학 기상 증착과 다릅니다.

 

막 두께 및 밀도와 같은 이상적인 매개변수를 얻기 위해 화학 기상 증착은 복잡한 프로세스인 온도 및 공기 유량과 같은 장비 설정 매개변수를 조정해야 합니다.

 

반도체 생산 산업 외에도 산업 제어 자동화의 급속한 발전과 함께 이온 주입 기술은 금속, 세라믹, 유리, 복합 재료, 고분자, 광물 및 식물 종자의 개선에도 널리 사용됩니다.

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