높은 열 전도도를 가진 구리 몸리브덴 제품 웨이퍼 기질
상세 정보 |
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상품 이름: | 이온 주입기 부품 | 등급: | Mo1 |
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비중: | 10.2 G/cm3 | 순도: | >99.95% |
인장 강도: | >325MPa | 신장: | <20> |
표준: | ASTM B387-01 | 애플리케이션: | 반도체 |
하이 라이트: | 99.95% 몰리브덴 제품,99.95% 이온 주입기 부품,반도체 이온 주입기 부품 |
제품 설명
Ion Implanter Parts는 첨단 소재 표면 처리의 새로운 세대입니다.그것은 고에너지 금속 원소 이온 빔으로 인한 일련의 물리적, 화학적 변화를 사용하여 고체 물질에 들어가 고체 물질의 특정 표면 특성을 향상시킵니다.
사양 및 화학 성분(비종)
재료 | 유형 | 화학 성분(중량 기준) |
퓨어몰리 | 모1 | >99.95%분모 |
Ti-Zr-Mo 합금 | TZM | 0,5% Ti / 0,08% Zr / 0,01 - 0,04% C |
Mo-Hf-C | MHC | 1,2 % Hf / 0,05 - 0,12 % C |
몰리 레늄 | 더 | 5.0% 재 |
몰리 텅스텐 | MoW20 | 20,0% W |
몰리 텅스텐 | MoW505 | 0.0% W |
이온 주입은 이온빔이 진공 상태에서 고체 물질에 방출될 때 이온빔이 고체 물질의 원자 또는 분자를 고체 물질의 표면 밖으로 두드리는 것을 의미합니다.이 현상을 스퍼터링이라고 합니다.
이온빔이 고체 물질에 닿으면 고체 물질의 표면에서 반사되거나 고체 물질을 통과합니다.이러한 현상을 산란이라고 합니다.
또 다른 현상은 이온빔이 고체 물질에 주입된 후 고체 물질의 저항으로 인해 이온빔이 점차 감소하여 최종적으로 고체 물질에 머무르는 현상이다.이 현상을 이온 주입이라고 합니다.
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