높은 열 전도도를 가진 구리 몸리브덴 제품 웨이퍼 기질
상세 정보 |
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상품 이름: | Mo1 이온 이식 부품 | 타입: | Mo1 |
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비중: | 10.2 G/cm3 | 순도: | >=99.95% |
인장 강도: | >325MPa | 신장: | <20> |
표준: | ASTM B387-01 | 애플리케이션: | 정밀 구성 요소 |
하이 라이트: | 몰리브덴 이온 이식 부품,정밀 이온 이식 부품,정밀 이식 반도체 |
제품 설명
몰리브덴의 이온 주입 부품은 비반도체 재료 이온 주입 표면 개질의 연구 및 응용 분야에서 보다 효과적이고 광범위합니다.많은 질소 이온 주입이 이루어지지 않지만 금속 이온 주입은 매우 잘 이루어집니다.그러나 기존의 이온주입기는 반도체 이온주입의 요건에 기반을 두고 있어 상대적으로 강한 금속이온빔을 얻기 어렵고, 비반도체 물질에 대한 이온주입 표면개질 비용이 상대적으로 비싸다.
사양 및 화학 성분
재료 | 등급 | 화학 성분(중량 기준) |
퓨어몰리 | 모1 | >99.95%분모 |
Ti-Zr-Mo 합금 | TZM | 0,5% Ti / 0,08% Zr / 0,01 - 0,04% C |
Mo-Hf-C | MHC | 1,2 % Hf / 0,05 - 0,12 % C |
몰리 레늄 | 더 | 5.0% 재 |
몰리 텅스텐 | MoW20 | 20,0% W |
몰리 텅스텐 | MoW505 | 0.0% W |
결과는 금속 이온 주입기가 비반도체 재료의 이온 주입 표면 개질의 연구 및 응용에 더 효과적이고 널리 사용됨을 보여줍니다.많은 질소 이온 주입은 실현할 수 없으며 금속 이온 주입은 잘 실현할 수 있습니다.그러나, 반도체 이온주입의 필요성에 기반한 기존의 이온주입기의 경우 상대적으로 강한 금속 이온빔을 얻기 어렵고, 비반도체 물질의 이온주입 표면 개질 비용도 상대적으로 비싸다.
몰리브덴 이온 주입기 부품 그림:
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