Al 35% Ti 65% 스퍼터링 타겟 티타늄 알루미늄

제품 설명

스퍼터링 타겟 티타늄-알루미늄

알루미늄 티타늄(AlTi) 합금 스퍼터링 타겟은 HIP 기술로 생산되며 도구 코팅 및 장식 코팅에 널리 사용됩니다.용융 공정에 비해 HIP 공정으로 제조된 TiAl 타겟은 미세한 내부 구조가 보다 균일하고 입자 크기가 작아 다양한 마그네트론 스퍼터링 기계 및 이온 코팅 기계에 적합합니다.PVD 공정에서 최종 사용자는 일정한 부식 속도와 고순도 및 균일한 박막 코팅을 얻을 수 있습니다.

국내외 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 생산 공정에 대한 연구 보고서에 따르면 현재 스퍼터링 타겟 티타늄-알루미늄의 주요 제조 기술은 고전류 가열 방식, 열간 등압 압축 소결법 및 열간 압축 소결법을 포함합니다.

당사의 스퍼터링 타겟 티타늄-알루미늄은 다음과 같은 이유로 인기가 있습니다.

높은 연성

높은 열전도율

균질한 미세구조

비교할 수 없는 수준의 재료 순도

형상이 무엇이든 - 로터리 또는 평면 아크 음극 또는 평면 스퍼터링 타겟: 당사는 귀하의 애플리케이션에 완벽한 맞춤형 타겟을 제공할 수 있습니다.

1. 고전류 가열 방식

Scholar 1은 고강도 전류를 통해 티타늄-알루미늄 합금 타겟을 제조하는 방법을 발명했습니다.이 방법은 대전류를 얻을 수 있는 소자를 사용하며 고전류를 이용하여 티타늄 분말과 알루미늄 분말을 가열하고 압력을 가하여 알루미늄과 티타늄이 스스로 반응하도록 한다.티타늄 알루미늄 합금 타겟이 형성됩니다.이 방법으로 제조된 티타늄 알루미늄 합금 목표 제품의 밀도는 >99%, 입자 크기는 ≤100 마이크론, 순도는 >99%입니다.티타늄 알루미늄 합금 타겟의 조성 범위는 티타늄 함량 5% ~ 75%(원자비)이고 나머지는 알루미늄 함량입니다.이 방법은 비용이 저렴하고 제품 밀도가 높아 대규모 산업 생산의 요구 사항을 완전히 충족할 수 있습니다.이 준비 방법은 큰 전류를 얻을 수 있는 장치가 필요합니다.양극 및 음극은 전도성 및 압력 전달 기능이 있어야 하며 전도성, 인성 및 고온 연화 저항성 등이 좋아야 합니다. 따라서 공정 요구 사항을 충족하고 안정적인 성능을 갖는 대전류 장치를 가질 수 있는지 여부는 준비 방법의 핵심.

2. 열간 등압 가압 소결법

Scholar 2는 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 분말 야금 제조 방법을 발명했습니다.이 방법은 티타늄 분말과 알루미늄 분말을 혼합한 다음 분말 로딩 및 냉간 등방압 프레싱 예비 압축, 탈기 공정을 거친 후 가열합니다.수압 프레싱이 형성되고 최종적으로 소결 및 가공되어 티타늄 알루미늄 합금 타겟을 얻습니다.이 방법으로 제조된 티타늄 알루미늄 합금 타겟은 고밀도, 무공극, 무공극 및 편석, 균일한 조성 및 미세한 결정립의 특성을 갖는다.준비 티타늄 알루미늄 합금 대상 제품의 밀도는 ≥99%, 순도는 >99%, 입자 크기는 ≤100 미크론이며 최대 사양 크기는 1,000mm에 도달할 수 있습니다.티타늄 알루미늄 합금 타겟의 조성 범위는 티타늄 함량 20% ~ 80%(원자비), 나머지는 알루미늄 함량입니다.열간 등방압 압축법은 현재 코팅 산업에서 요구하는 티타늄 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 제조하는 주요 방법입니다.이 방법으로 제조된 타겟 제품은 조밀하고 다양한 크기 사양을 가지고 있지만, 이 방법은 키 프레스 및 소결 장비인 열간 등방형 프레스 소결로를 사용해야 하므로 고가의 비용이 발생합니다. 준비된 대상 제품으로 산업화를 촉진하기 어렵습니다.

3. 열간 프레스 소결법

Scholar 3 et al.티타늄 알루미늄 합금 타겟을 위한 급속 열간 프레스 소결 공정을 발명했습니다.이 공정을 통해 티타늄 알루미늄 분말이 열과 힘의 결합 작용으로 소결될 수 있습니다.Ti-Al 혼합물에서 알루미늄의 낮은 융점은 티타늄 알루미늄 합금을 감소시키는 데 사용됩니다.분말은 함께 결합되어 합금 스퍼터링 타겟을 형성합니다.열간 프레스 소결의 개략도는 그림 2에 나와 있습니다.

스퍼터링 타겟 티타늄-알루미늄 그림:

이 방법으로 제조된 합금 타겟은 고밀도(≥95%), 작은 입자 크기(≤100 마이크론) 및 균일한 조성을 가지고 있습니다.이 공정을 통해 다양한 조성의 티타늄-알루미늄 합금 타겟을 제조할 수 있습니다.티타늄-알루미늄 합금 타겟 조성 범위: 티타늄 함량은 25% ~ 75%(원자비)이고 나머지는 알루미늄 함량입니다.공정이 짧고 비용이 저렴하며 코팅 효과가 우수하여 대규모 산업화 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

이 공정의 특징은 진공 또는 보호 분위기에서 단단한 금형을 통해 압력을 전달하여 열과 힘의 결합 작용하에 재료가 소결 및 형성되고 냉간 프레스 및 소결의 두 단계가 하나로 결합되는 것입니다. 공정 효율성을 크게 향상시킬 수 있는 단계.

이 공정은 장비에 대한 요구 사항이 높으며 핵심 장비는 열간 프레스 소결로입니다.준비된 타겟은 주로 직경이 100mm 이하인 원형 합금 타겟입니다.또한 이 공정은 알루미늄 함량이 높은 티타늄-알루미늄 합금 타겟을 제조하는 데 사용됩니다.이때 이형이 어렵고 금형수명이 낮다는 문제가 있다.각 대상 준비 프로세스는 금형 세트를 소비하므로 대상의 생산 비용이 증가합니다.따라서 수율 및 금형 성능을 향상시키기 위해 적합한 이형제를 선택하는 것이 필요합니다.가동률.

현재 열간 프레스 소결은 티타늄 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟의 가장 잠재적인 준비 기술입니다.이 기술은 공정 효율이 높고 산업 생산에 적합합니다.그러나 티타늄 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 제조하기 위해 열간 프레스 소결을 사용하는 것은 이형이 어렵고 금형 수명이 짧다는 문제가 있습니다.각 대상 준비 프로세스는 금형 세트를 소비하므로 대상의 생산 비용이 증가합니다.티타늄 알루미늄 합금의 소결 과정에서 티타늄은 융점이 높은 경질상에 속하고 알루미늄은 결합상에 속합니다.고 알루미늄 티타늄-알루미늄 합금 분말의 소결 과정에서 저 융점 알루미늄이 점차 녹아 티타늄 원자를 결합하여 최종적으로 합금 타겟을 형성 할 수 있습니다.그러나, 알루미늄액과 흑연 몰드의 젖음각은 둔각이며, 알루미늄 함량이 티타늄 알루미늄 합금일수록 열간 프레스 소결 및 냉각 후 이형이 더 어렵다.따라서 고 알루미늄 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 열간 프레스 소결 준비 공정은 금형의 수율과 활용률을 향상시키기 위해 적절한 이형제를 선택해야합니다.

또한, 열간 프레스 소결 공정에서의 소결 온도, 가열 속도 및 열간 프레스 압력은 제품의 최종 구조 및 성능에 큰 영향을 미칩니다.그 중 소결 온도가 너무 높으면 고상 소결에서 액상 소결로 전환되어 고융점 경질 골격이 붕괴되고 전력과 에너지가 낭비되어 비용 절감에 도움이되지 않습니다.또한, 소결 온도가 너무 높으면 결정 입자의 성장과 두 번째 상의 증가 및 성장을 일으켜 타겟 재료의 스퍼터링 코팅 성능을 저하시킵니다.타겟 결정립이 너무 크면 스퍼터링 중에 스퍼터링 표면이 소모되어 스퍼터링 타겟에 나타나는 침식 부분 표면의 요철이 증가하여 결과적으로 막 두께의 균일성이 저하됩니다. 형성된 합금 필름.전력이 크면 작은 아크의 비정상 방전 빈도가 증가하여 스패터링이 발생합니다.동시에 2차상은 기판에 비해 스퍼터링 효율이 좋지 않고 돌기로 남을 가능성이 있어 스퍼터링막의 균일성에 영향을 미치게 된다.소결 온도가 너무 낮으면 불완전한 소결 및 대상 제품의 낮은 밀도를 초래할 수 있습니다.열간 프레스 공정에서 가열 속도가 빠르면 작업 효율을 높일 수 있지만, 일부 영역이 먼저 소결되기 때문에 접합 상이 흘러 타겟 재료의 최종 조성 불균일 문제가 발생합니다.더 높은 압력은 효율성을 향상시킬 수 있지만 동시에 심각한 금형 마모를 유발하고 금형 수명을 단축시킵니다.

요약하면, 열간 프레스 소결은 티타늄 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 위한 가장 잠재적인 준비 기술입니다.이 기술은 공정 효율이 높고 산업 생산에 적합합니다.이 기술로 티타늄 알루미늄 합금 타겟을 제조하려면 반복적인 시도와 선택이 필요합니다.이형제는 금형의 수율과 가동률을 향상시킬 수 있습니다.동시에 소결 열간 프레스 공정 조건(소결 온도, 가열 속도, 열간 프레스 압력)을 최적화하고 생산 효율을 개선하며 비용을 절감해야 합니다.스퍼터링 코팅의 급속한 성장과 중국의 점진적인 대중화 추세로 인해 스퍼터링 코팅 타겟에 대한 시장 수요도 매년 빠르게 증가하고 있습니다.따라서 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 제조 기술에 대한 연구는 실용적인 의의와 응용 전망을 가지고 있습니다.