이오네니메플랜테이션 수단을 위한 텅스텐 & 몰리브덴 예비품

이오네니메플랜테이션 수단을 위한 텅스텐 & 몰리브덴 예비품

이오네니메플랜테이션 도구를 위한 텅스텐 & 몰리브덴 예비품은 웨이퍼 소재, Ｅ의 전기적 성질을 바꾸는 이온으로 웨이퍼를 도핑하기 위해 반도체 산업의 진공 공정입니다. Ｇ. 전도성. 과정은 다음 단계 내에서 분리됩니다 : 이온 소스, 추출에서 이온과 선택 주입을 위한 이온의 질량 분리의 생성, 빔, 가속과 웨이퍼에 대한 이온 빔의 포커싱의 디베리온. 이온 임플랜터의 이 지역은 빔 라인으로 불립니다.

빔 라인에서 나름대로 사용된 높은 수행 물질은 텅스텐, 몰리브덴, 텐탈과 흑연입니다. 높은 순수한 도자기류, Ｅ의 추가 절연체에서. Ｇ. BN은 사용됩니다.

팬메탈은 아맛, 베리안과 악셀이의 이온 임플랜터에서 빔라인에게 소비재의 고급 품질과 교체 구성요소를 제공합니다. 공정 개선에 대한 고객들의 요구를 부합시키는 일부의 장비 업그레이드와 변경은 부가 서비스입니다.

이온 임플랜터에서 이온 빔의 도식적입니다.

이오네니메플랜테이션 수단 그림을 위한 텅스텐 & 몰리브덴 예비품 :